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MEMS

微機電系統（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。

靜電梳齒結構的MEMS分析和優化設計.rar

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MEMS傳感器弱信號檢測電路及集成設計.rar

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小波閾值去噪法在MEMS陀螺儀信號降噪中的應用

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STM32F4-Discovery MEMS keil&iar例程

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基于BCB鍵合的MEMS加速度計圓片級封裝工藝

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具有壓縮和噪聲門的低噪聲模擬MEMS麥克風和前置放大器

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MEMS傳感器的靜止帶寬測試

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MEMS麥克風有助于提高系統設計效率

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基于MEMS與單片機的西瓜成熟度無損檢測系統的研究

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MEMS 經典教材

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