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MEMS
微機電系統（
MEMS
,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
靜電梳齒結構的
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傳感器弱信號檢測電路及集成設計.rar
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小波閾值去噪法在
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陀螺儀信號降噪中的應用
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傳感器的靜止帶寬測試
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麥克風有助于提高系統設計效率
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