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微機電系統（
MEMS
,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
High+Performance+RF+
MEMS
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MEMS
Eng
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MEMS
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MEMS
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Microengineering,
MEMS
, and Interfacing
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