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MEMS中的常用材料參數

  • 資源大小:54 K
  • 上傳時間: 2016-05-02
  • 上傳用戶:jzp_home_2009
  • 資源積分:2 下載積分
  • 標      簽: MEMS 材料 參數

資 源 簡 介

MEMS中的常用材料參數,這些參數在MEMS器件設計仿真過程經常會被用到。

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