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MEMS慣性傳感器在控制系統(tǒng)中的應(yīng)用研究

資 源 簡 介

MEMS慣性傳感器作為工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)用新興的應(yīng)用元件,不論在商業(yè)、工業(yè)還是軍工應(yīng)用上都有著廣闊的應(yīng)用。文中給出了幾種MEMS的在不同領(lǐng)域內(nèi)的應(yīng)用范例,并解析了相應(yīng)的原理,并從一款較常用的MEMS入手提出了對相應(yīng)領(lǐng)域內(nèi)的解決思路。

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