摘要:設(shè)計(jì)并制作了一種基于溫度梯度驅(qū)動(dòng)的液滴傳輸芯片,以實(shí)現(xiàn)對微液滴傳輸?shù)木_控制.介紹了驅(qū)動(dòng)原理和工藝流程,分析了仿真和實(shí)驗(yàn)結(jié)果.該芯片利用溫度梯度下液滴表面形成的表面張力梯度來傳輸液滴,采用玻璃作為襯底,Ti為電阻加熱器,Au為電極,PECVD氧化硅為介質(zhì)層,碳氟聚合物為疏水層,實(shí)現(xiàn)了器件制作.芯片采用開放式結(jié)構(gòu),制作工藝簡單,操作方便.測試結(jié)果表明,驅(qū)動(dòng)功率為0.38W時(shí),去離子水和硅油的傳輸速率分別達(dá)到0.1mm燉s和1mm燉s.關(guān)鍵詞:微液滴;溫度梯度;表面張力梯度;電阻加熱器;開放式結(jié)構(gòu)
標(biāo)簽:
溫度
梯度驅(qū)動(dòng)
傳輸
上傳時(shí)間:
2013-10-29
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