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基于溫度梯度驅動的液滴傳輸行為研究

  • 資源大小:1156 K
  • 上傳時間: 2013-10-29
  • 上傳用戶:wzy1
  • 資源積分:2 下載積分
  • 標      簽: 溫度 梯度驅動 傳輸

資 源 簡 介

摘要:設計并制作了一種基于溫度梯度驅動的液滴傳輸芯片,以實現對微液滴傳輸的精確控制.介紹了驅動原理和工藝流程,分析了仿真和實驗結果.該芯片利用溫度梯度下液滴表面形成的表面張力梯度來傳輸液滴,采用玻璃作為襯底,Ti為電阻加熱器,Au為電極,PECVD氧化硅為介質層,碳氟聚合物為疏水層,實現了器件制作.芯片采用開放式結構,制作工藝簡單,操作方便.測試結果表明,驅動功率為0.38W時,去離子水和硅油的傳輸速率分別達到0.1mm燉s和1mm燉s.
關鍵詞:微液滴;溫度梯度;表面張力梯度;電阻加熱器;開放式結構

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