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《微機械與微細加工技術》(苑偉政 & 馬炳和)
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微慣性儀表—微機械加速度計
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美國機械工程師手冊英文原版
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利用RTOS機制實現機械系統中的質量
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這是利用RTOS去實現機械系統
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使用微機電 (MEMS) 設計 Data Acquisition System
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硅微機械傳感器 316頁 8.4M.pdf
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