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微機械

硅微機械傳感器

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微機械壓電陀螺ENC-03的中文手冊

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微機械與微細(xì)加工技術(shù).苑偉政.馬炳和.掃描版.pdf

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石英微機械慣性傳感器的加工技術(shù)

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振子框架式微機械陀螺的優(yōu)化設(shè)計及電學(xué)模擬

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微機械加速度傳感器性能的等效電學(xué)模擬

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高靈敏度微機械薄膜的設(shè)計、模擬與優(yōu)化

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硅微機械加工光波導(dǎo)壓力傳感器的設(shè)計

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