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微納米加工技術(shù)及其應(yīng)用

  • 資源大小:15638 K
  • 上傳時(shí)間: 2022-07-10
  • 上傳用戶:d1997wayne
  • 資源積分:2 下載積分
  • 標(biāo)      簽: 微納米加工技術(shù)

資 源 簡(jiǎn) 介

本書集作者多年來的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)與研究成果,系統(tǒng)地介紹了微納米加工技術(shù)的基礎(chǔ),包括光學(xué)曝光技術(shù)、電子束曝光技術(shù)、

聚焦離子束加工技術(shù)、X射線曝光技術(shù)、各種刻蝕技術(shù)和微納米尺度的復(fù)制技術(shù),對(duì)各種加工技術(shù)著重講清原理,列舉基

本的工藝步驟,說明各種工藝條件的由來,并注意給出典型上藝參數(shù),充分分析了各種技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)及在應(yīng)用過程過程中

的注意事項(xiàng),全書強(qiáng)調(diào)實(shí)用,避免煩瑣的數(shù)學(xué)分析,既注重基礎(chǔ)知識(shí)又兼顧微納米加工領(lǐng)域近年來的最新進(jìn)展及在各高科

技鎖域的應(yīng)用,并列舉了相關(guān)參考文獻(xiàn)供進(jìn)一步深入研究,因此不論是對(duì)初次涉足這一領(lǐng)域的大專院校的本科生或研究

生,還是對(duì)已經(jīng)有一定工作經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)科技人員,都具有很好的參考價(jià)值。


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