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硅中磷雜質的SIMS定量檢測

  • 資源大小:513 K
  • 上傳時間: 2013-11-21
  • 上傳用戶:wenyishizhu
  • 資源積分:2 下載積分
  • 標      簽: SIMS 定量檢測

資 源 簡 介

樣品的前期處理工藝會對檢測結果產生影響。不同處理工藝得到的樣品,在表面粗糙度方面產生區別。不同的表面粗糙度,影響到樣品的測試時間和測試精度。同時,通過儀器調試,儀器的真空度達到1×10-10  torr,使測試背底和檢測限降低。

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