設(shè)計(jì)了一種新型結(jié)構(gòu)的體硅工藝梳齒電容式加速度計(jì),該設(shè)計(jì)采用2個(gè)檢測(cè)質(zhì)量塊,分別檢測(cè)水平方向和垂直方向的加速度。x,y水平方向不對(duì)稱梳齒的設(shè)計(jì),消除了z軸對(duì)水平軸向加速度的干擾,同時(shí)z軸支撐梁的設(shè)計(jì),解決了水平軸向?qū)軸的干擾。
標(biāo)簽：
電容式
加速度計(jì)
設(shè)計(jì)分析
上傳時(shí)間：
2013-10-13
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