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諧振式

對硅微諧振式加速度計的數據采集電路開展研究工作

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項目的研究內容是對硅微諧振式加速度計的數據采集電路開展研究工作。硅微諧振式加速度計敏感結構輸出的是兩路差分的頻率信號

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諧振式水晶溫度傳感器的現狀和發展預測

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