針對(duì)飛秒激光微納加工技術(shù)中激光與加工樣品相對(duì)運(yùn)動(dòng)的控制、聚焦光斑能量的控制中存在的問(wèn)題，提出一種基于硅基液晶空間光調(diào)制器動(dòng)態(tài)加載計(jì)算全息圖同時(shí)控制焦點(diǎn)位置和能量的新型加工方法。該方法通過(guò)加載疊加閃耀光柵的全息圖，控制單點(diǎn)運(yùn)動(dòng)來(lái)掃描加工二維結(jié)構(gòu)，無(wú)需平臺(tái)移動(dòng)。進(jìn)一步控制全息圖的挖空區(qū)域，可以調(diào)制入射光斑的能量，進(jìn)而控制被加工點(diǎn)陣的形貌。利用這一加工效應(yīng)，成功實(shí)現(xiàn)各種可控環(huán)狀結(jié)構(gòu)的加工，并在光學(xué)顯微鏡下測(cè)試達(dá)到相應(yīng)效果，證明這種加工方法在飛秒激光微納加工領(lǐng)域具有可行性。
標(biāo)簽：
空間光調(diào)制器
激光加工
能量
上傳時(shí)間：
2019-02-22
上傳用戶：yuchen1019
