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微電子技術的發(fā)展規(guī)律及趨勢。介紹了微電子技術隨特征尺寸縮小而存在的幾個關鍵發(fā)展層次

資 源 簡 介

微電子技術的發(fā)展規(guī)律及趨勢。介紹了微電子技術隨特征尺寸縮小而存在的幾個關鍵發(fā)展層次,包括微細加工、互連技術、新器件結構及材料技術等。

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